Icon projectПроект ФЭ-1304

Технология и формирование наноструктур

Направление

Наносистемы, нанотехнологии и наноматериалы

Вид проекта

науко-ориентированный

Размещение в СБИ

Нет

Цель проекта

Разработка технологии и методов формирования наноструктур

Основные задачи проекта на этапах реализации

Освоение теоретических и практических основ контактной фотолитографии;
Освоение технологии контактной фотолитографии;
Освоение технологии электролитического анодирования;
Освоение методов исследования микро- и наноструктур.

Заинтересованные структуры

ТУСУР, НПФ "Микран", ОАО НИИПП

Потребные ассигнования

100.000

Источники средств

каф.ФЭ, х/д работы

Актуальность тематики проекта

Одной из актуальных задач современной измерительной техники является переход на элементную базу наноэлектроники. К настоящему моменту известны десятки методов создания наноструктурированных материалов. Все методы получения наноструктур возможно условно разделить на два больших класса - физические и химические методы. К физическим методам создания наноструктурированных относятся: плазменное напыление, анодное, магнетронное и т.д. К химическим методам создания наноструктурированных относятся: химическая конденсация
паров, электролитическое анодирование и т.д. Одним из наиболее доступных методов модификации наноматериалов является наноструктурирование, то есть создание на поверхности материала или в его объеме наноразмерных структур: слоев, пор и т.д.

Научная новизна проекта

Комплексный подход к разработке технологии получения диэлектрических и металлических покрытий, а также методов формирования наноструктур

Практическая значимость проекта

Выполнение проекта значимо для осуществления учебного процесса при подготовки специалистов для предприятий производства изделий микроэлектроники.

Ожидаемые результаты

1. Разработка технологии получения тонких диэлектрических пленок методом анодирования.
2. Разработка методов формирования наноструктур в диэлектрических и металлических слоях методом контактной фотолитографии.

Прогноз возможных сроков реализации проекта

2016-2017 гг, НИИПП, ТУСУР

Целевая аудитория (потребители)

Студенты, магистранты, молодые ученые