Проект ФЭ-1304

науко-ориентированный

Разработка технологии и методов формирования наноструктур

Освоение теоретических и практических основ контактной фотолитографии;
Освоение технологии контактной фотолитографии;
Освоение технологии электролитического анодирования;
Освоение методов исследования микро- и наноструктур.

ТУСУР, НПФ "Микран", ОАО НИИПП

100.000

каф.ФЭ, х/д работы

Одной из актуальных задач современной измерительной техники является переход на элементную базу наноэлектроники. К настоящему моменту известны десятки методов создания наноструктурированных материалов. Все методы получения наноструктур возможно условно разделить на два больших класса - физические и химические методы. К физическим методам создания наноструктурированных относятся: плазменное напыление, анодное, магнетронное и т.д. К химическим методам создания наноструктурированных относятся: химическая конденсация
паров, электролитическое анодирование и т.д. Одним из наиболее доступных методов модификации наноматериалов является наноструктурирование, то есть создание на поверхности материала или в его объеме наноразмерных структур: слоев, пор и т.д.

Комплексный подход к разработке технологии получения диэлектрических и металлических покрытий, а также методов формирования наноструктур

Выполнение проекта значимо для осуществления учебного процесса при подготовки специалистов для предприятий производства изделий микроэлектроники.

1. Разработка технологии получения тонких диэлектрических пленок методом анодирования.
2. Разработка методов формирования наноструктур в диэлектрических и металлических слоях методом контактной фотолитографии.

2016-2017 гг, НИИПП, ТУСУР

Студенты, магистранты, молодые ученые