Icon project 8912809d77d657b57b9e74ab50903dbdc2bb8795297cd4da9d47b022b8366facПроект ФЭ-1604

Электронно-лучевая обработка материалов в форвакуумной области давлений

Направление

Материаловедение

Вид проекта

науко-ориентированный

Цель проекта

Комплексное экспериментальное и теоретическое исследование процессов генерации и транспортировки электронных пучков применительно к обработке поверхности твердых диэлектриков в форвакуумной области давлений. Исследование материалов подвергшихся электронно-лучевой обработке.

Основные задачи проекта на этапах реализации

Исследование работы разрядно-эмиссионных систем с полым катодом в форвакуумной области давлений. Получение электронных пучков различной конфигурации. Исследование параметров разрядной и пучковой плазмы. Изучение характера взаимодействия электронного пучка и диэлектрических мишеней. Исследование свойств материалов подвергшихся электронно-лучевой обработке.

Заинтересованные структуры

Учебные, научные и производственные организации занимающиеся исследованиями, разработкой и применением диэлектрических материалов; ООО "Электронные источники"

Потребные ассигнования

нет

Источники средств

Собственные средства руководителя проекта, а также внебюджетные средства кафедры физики

Актуальность тематики проекта

В последнее время существенное развитие получили так называемые форвакуумные плазменные источники электронов. Принципиальным отличием этих устройств является их способность к генерации пучков в ранее недоступной области давлений (5 - 20) Па, которая может достигаться с использованием лишь одной механической (форвакуумной) ступенью откачки. Указанное преимущество имеет, несомненно, значение, однако, одним из главных достоинств форвакуумных источников электронов является их способность непосредственной обработки непроводящих материалов. Как показали специально проведенные эксперименты, в форвакуумной области давлений при воздействии ускоренного электронного пучка на изолированную мишень установившийся плавающий потенциал этой мишени оказывается близким к потенциалу земли. Именно этот эффект и обуславливает возможность эффективной обработки диэлектриков электронным пучком с энергией, практически соответствующей величине ускоряющего напряжения.

Научная новизна проекта

Новизна работы определяется использованием электронного пучка для обработки материалов в форвакуумной области давлений

Практическая значимость проекта

Разработка, создание и модернизация форвакуумных плазменных электронных источников. Применение плазменных электронных источников для модификации диэлектрических материалов.

Ожидаемые результаты

Основные результаты буду связаны с разработкой, созданием и модернизацией форвакуумных плазменных электронных источников. Определением режимов обработки различных диэлектрических материалов приводящих к изменению и улучшению их свойств.

Прогноз возможных сроков реализации проекта

Результаты работы могут быть использованы в технологии электронно-лучевой обработки непроводящих материалов, а также в технологиях ионно-плазменной обработки

Целевая аудитория (потребители)

Предприятия электронной и химической промышленности, университеты, научно-исследовательские организации, конструкторские бюро.